Die MUEGGE Group ist ein weltweit aufgestellter Technologieführer im Bereich der Mikrowellen- und Plasmatechnologie mit 40 Jahren Erfahrung. Mit Hauptsitz in Deutschland sowie Standorten in den USA, Italien und Singapur entwickelt und liefert MUEGGE fortschrittliche Plasmaquellen, Mikrowellengeneratoren einschließlich Solid-State-Generatoren sowie kritische Prozesskomponenten für Halbleiteranwendungen wie PECVD, PEALD, das Ätzen organischer und anorganischer Materialien, Chamber Cleaning, Resist Removal und Decapsulation.