Bei der Herstellung von Elektronikbauteilen oder Halbleitern sind häufig Reinraumanforderungen erforderlich.
Die vötschoven Reinraumöfen VTF liefern durch ihre Reinheit optimale Produktionsergebnisse und können an individuelle Aufstellsituationen und Prozesse angepasst werden. Ab einer Reinraumanforderung von ISO 5 werden die Geräte mit einem Hochleistungsschwebstofffilter (HEPA) ausgestattet.
- Reinraum-konform für Klassen ISO 4 - ISO 7 gemäß DIN EN ISO 14644-1
- Reinraum-ideal durch kleinsten Footprint
- Silikonfreie Ausführung mit Viton Dichtung bis 450°C
- Ofenausführung für brennbare Stoffe nach EN 1539 oder mit Explosionsschutz
- Gasdichte Ofenausführung für Inertgas- oder Hybridprozesse
- Stetige homogene räumliche Temperaturverteilung
- Einbindung in automatisierte Fertigungslinien