Sono-Tek

Präzise Ultraschall-Sprühbeschichtung für komplexe Wafer-Topografien

Unternehmensprofil

Ultraschallsprühen ist ein einfaches, wirtschaftliches und reproduzierbares Beschichtungsverfahren für Fotolacke in der Nasslithografie sowie für schützende Polyimidschichten beim Wafer-Dicing. Es bietet eine praxiserprobte Alternative zum Spin-Coating bei komplexen Wafer-Topografien. Sono-Tek-Beschichtungssysteme ermöglichen die präzise Steuerung von Durchflussrate, Beschichtungsgeschwindigkeit, Lösungsmittelzufuhr und Schichtauftrag. Durch die gezielte Formgebung des Sprühstrahls entstehen präzise, kontrollierbare Sprühmuster, die gleichmäßige Dünnschichten selbst auf komplexen Substratgeometrien erzeugen. Die direkte Ultraschall-Sprühbeschichtung hat sich als zuverlässiges und effektives Verfahren zur Fotolackbeschichtung von 3D-Mikrostrukturen bewährt und trägt zu einer höheren Prozesssicherheit sowie geringeren Ausfallraten bei.