Precursor Verdampfersysteme für CVD, PECVD, ALD. Flüssigkeits- und Gassupply.

Anspruchsvolle Systeme zur Handhabung von Gasen und Flüssigkeiten. Das ist SIGA. Unser Spezialgebiet sind Precursor-Verdampfersysteme für CVD, PECVD und ALD Anlagen (TMA, DMZ, HMDS, HMDSN, TMDSO uvm). 
Seit 30 Jahren kommen unsere Systeme in Entwicklung und Produktion zum Einsatz. Wir bauen Serien- und Einzelsysteme für Industrie und Forschung basierend auf etablierten Standards und innovativen Lösungen.
Wir liefern:
- Precursor Verdampfersysteme für flüssige Precursor
- Prcursor Versorgungssysteme
- Gas supply systme
Als unabhängiger Anbieter realisieren wir Verdampfersysteme basierend auf allen gängigen Technologien mit den optimalen verfügbaren Komponenten.