Sonstiger Kontakt
Frau Kathy Erickson
Marketing
Sr. Manager, Product Management & Marketing
MSP, a Division of TSI
MSP, a Division of TSI
Wafer Contamination & Cleaning Standards. Vapor Delivery Solutions for ALD & CVD
Unternehmensprofil
MSP, a Division of TSI®, unterstützt die Halbleiterindustrie mit innovativen Lösungen für die Dampfzufuhr bei CVD- und ALD-Prozessen sowie für die Inspektion von Oberflächendefekten und die Messtechnik. Zu unseren Geräten und Dienstleistungen gehören:
- MSPs Turbo II™-Verdampfer, Dampf-/Gasfilter und Flüssigkeitsdurchflussregler zur Gewährleistung einer präzisen Dampfzufuhr, hochwertiger Dünnschichten und höherer Wafer-Ausbeuten
- Bewährte Partikelabscheidungssysteme, zertifizierte Kontaminationsstandards und zuverlässige Partikelsuspensionen zur Kalibrierung und Optimierung von Wafer-/Retikel-Prüfgeräten sowie Wafer-/Masken-Reinigungsanlagen
Hauptaussteller
Kontaktdaten
MSP, a Division of TSI
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Sonstiger Kontakt
Herr Erik Anderson
Sonstiger Kontakt
Frau Kimberly Meyer
Marketing
Global Product Manager – Vaporizers
MSP, a Division of TSI