USHIO provides projection mask aligners, UX-4, for stable lithography.

 USHIO Inc. bietet Projektionsmasken-Aligner der UX-4-Serie für die Herstellung von Halbleitern. Unsere Anlagen unterstützen eine hochgenaue Muster-Positionierung und eine zuverlässige Belichtung und ermöglichen dadurch eine stabile Lithografie für eine Vielzahl von Anwendungen – einschließlich Leistungs-Halbleiterbauelementen, MEMS-Sensoren, RF-Filtern sowie optischen Halbleitern, wie z. B. laserbezogenen Komponenten.

Basierend auf umfangreicher Erfahrung in optischen und Regelungstechnologien liefern wir Lösungen, die auf eine gleichbleibend hohe Leistungsfähigkeit, eine effiziente Integration und eine langfristige Einsatzfähigkeit ausgelegt sind. Unsere globalen Teams eng mit den Kunden zusammen, um deren technische Anforderungen zu erfüllen und die Produktivität zu verbessern.