SECS/GEM, E84, Datenerfassung und Konnektivität für Fab- und Tool-Upgrades

Focussia unterstützt Halbleiterfabriken und Anlagenhersteller dabei, Produktionsanlagen zu vernetzen, zu automatisieren und zu modernisieren. SmartBoxE84 stattet neue und bestehende Anlagen mit SEMI-E84-Funktionalität aus und vereinfacht die Integration in AMHS- und OHT-Systeme – vom einzelnen Tool bis zum fabweiten Upgrade. SmartGem bietet flexible SECS/GEM-Konnektivität für Host-Integration, Datenzugriff und Automatisierung. SmartPassThrough ermöglicht nicht-invasive Datenerfassung aus bestehender SECS/GEM-Kommunikation und liefert Prozessdaten, Events und Alarme, ohne Equipment-Software oder Host-Schnittstellen zu verändern. Unsere Lösungen verlängern die Nutzungsdauer von Anlagen, vereinfachen Upgrades und schaffen die Konnektivitätsbasis für eine datengetriebene Halbleiterfertigung.