Weltleitmesse und Konferenz der Elektronik
12.-15. November 2024 | Messe München
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scia Systems GmbH

SEMICON Europa
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Beschichten, Ätzen & Reinigen mit modernen Ionenstrahl- & Plasmaprozesssanlagen

Unternehmensprofil

scia Systems entwickelt und fertigt Anlagen mit komplexen Plasma- und Ionenstrahltechnologien für die ultrapräzise Oberflächenbearbeitung. Die Systeme werden für Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungsprozesse eingesetzt, insbesondere in der MEMS-, Mikroelektronik- und Präzisionsoptikindustrie. Aufgrund ihres flexiblen und modularen Aufbaus können die Anlagen auf kundenspezifische Anforderungen angepasst werden. So sind "Cluster"- oder "Inline"-Konfigurationen sowohl für Forschungsanwendungen als auch für die Großserienproduktion möglich. Unser breites Spektrum an Prozesstechnologien umfasst Ätzverfahren wie Ionenstrahltrimmen, Ionenstrahlätzen und reaktives Ionenätzen sowie Beschichtungsverfahren wie Ionenstrahlsputtern, PECVD und Magnetronsputtern.

Kontaktdaten

scia Systems GmbH
Clemens-Winkler-Straße 6c, 09116 Chemnitz, Deutschland
Kontaktanfrage
Kontakt Vertrieb
Herr Philipp Böttger
Technical Sales
Technical Sales manager
scia Systems GmbH