Vertriebsgesellschaft mit Produkten für den Halbleiter-/MEMS-Markt.

•  Anlagen: CMP, Backgrinding, Taping-Detaping-Mounting, Scribe+Break, ALD+Reinigung (WET+CO₂), Plasma Etch, RIE, ICP, Asher, PECVD, Ultrasonic Spray Coating, Spin Coating, CPD.

• Messtechnik + Automatisierung: Partikel- und Fehlerprüfungs-Anlagen, EFEM, Wafer Loader, Flat/Notch Aligners, Dickenmessung, Ultraschall-Durchflussmessung, REM, Konzentrationsmessung von Chemikalien+Slurry.

• Teile + Verbrauchsmaterialien
Für CMP: Retaining Ring, Diamantkonditionierer, Pads...
Schleifscheiben, Transportboxen, Kassetten (PFA, PP, PE, PEEK), Chemikalien- und DIW-Heizer, Chemikalienpumpen. Reinigungsmaterial.

• Dienstleistung: Roboter-Reparatur für Yaskawa, Kawasaki, Brooks, PRI, Equipe+Genmark. Kryo- und Chemikalienpumpen-Reparatur, Power Supply Reparatur.