S3 Alliance GmbH

SEMICON Europa
 
Ausrüster und Service-Partner für Halbleiter-/MEMS-Hersteller und Entwickler.

Unternehmensprofil

Vertriebsgesellschaft, die Produkte für den Halbleiter-/MEMS-Markt anbietet.
Anlagen: 
CMP, Taping-Detaping-Mounting, Scribe Break, ALD Reinigung (WET CO₂), Plasma Etch, RIE, Asher, PECVD, Ultrasonic Spray Coating, Spin Coating, CPD.
Messtechnik Automatisierung: 
Autonomer Mobiler Roboter (AMR), Integrierte Sortier- und Prüfplattformen, Flat/Notch Aligners, Partikel-Messung, Ultraschall-Durchflussmessung, REM, C-SAM, Konzentrationsmessung von Chemikalien Slurry.
Teile Verbrauchsmaterialien: 
Für CMP: Retaining Ring, Konditionierer, Pads, Schleifscheiben.
Boxen, Kassetten (PFA, PEEK), Chemikalien- DIW-Heizer, Fittings (PVDF, UHP Edelstahl), Ventile, Fotolack, Chemikalienpumpen. Reinigungsmaterial.
Dienstleistung: 
Roboter-Reparatur für Yaskawa, Kawasaki, Brooks, PRI, Equipe und Genmark. Kryo- und Chemikalienpumpen-Reparatur, Power Supply Reparatur, O3 Generatoren.

Mitaussteller

Kontaktdaten

S3 Alliance GmbH
Mahdenstraße 23, 72138 Kirchentellinsfurt, Deutschland
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