Hochqualitative F&E im Bereich MEMS Technologie, Bauelemente und Systeme.

Das Microsystem Integration Center ist eine Forschungseinrichtung der Mikrosystemtechnologie. Es ist spezialisiert auf Prozesstechnologie und Systemintegration sowie auf das Design, die Entwicklung und den Test verschiedener MEMS-Bauelemente. Auf einer Reinraumfläche von 1800 m² stehen zahlreiche Anlagen für MEMS-Herstellungsprozesse und Evaluierung zur Verfügung. Wir forschen gemeinsam mit Industrieunternehmen, basierend auf Ideen aus der Industrie oder unserer Grundlagenforschung. Unser Spektrum reicht von grundlegender MEMS-Technologie bis zur Systemverifikation. Viele Forschungsergebnisse wurden in Zusammenarbeit mit der Industrie erfolgreich kommerzialisiert.