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amcoss Spezialanlagen für Produktion und Labor

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Feldkirch, Österreich. Neben den Spin Coatern und Developern der amc-Serie entwickelt und produziert die amcoss GmbH eine Reihe von Anlagen und Geräten für Spezialanwendungen in Produktionsprozessen oder auch für kleine Stückzahlen in Laboren oder Einzelfertigungen.

amcoss Einzelmaschine für HMDS-Bedampfung

Bei der HMDS-Bedampfung stoßen herkömmliche Coater-Anlagen verfahrenstechnisch sehr oft an ihre Grenzen. Die amc hmds200 Anlage hingegen ist eine eigens für die HMDS-Adhäsion – auch in MEMS-Anwendungen - entwickelte Batch-Maschine. Ein sehr großer Vorteil ist die Kassettenstation, die in zwei Kassetten insgesamt 50 Wafer bis zu einer Größe von 8 Zoll aufnehmen und gleichzeitig dem HMDS-Prozess zuführen kann. Im Vergleich zur Einzelprozessierung erhöht sich der Durchsatz dadurch enorm, was die Wirtschaftlichkeit spürbar erhöht. Außerdem ist eine Beschädigung der Beschichtung, die durch das Einzelwaferhandling entstehen kann, ausgeschlossen. Zwei Detektoren erkennen und registrieren zur Lotüberwachung die Anzahl der Kassetten.

In der aus Edelstahl gefertigten HMDS-Prozesskammer ist ein HMDS-Verdampfer mit kontrolliertem N2-Fluß integriert. Außerdem wird der HMDS-Gehalt ständig überwacht und es erfolgt eine kontrollierte Absaugung. Dank dieser Features ist der Prozess jederzeit kontrollier- und beherrschbar, was die Sicherheit erhöht und Fehlproduktionen sowie Ausschuss und somit Fehlerkosten senkt. Gesteuert wird der gesamte Prozess über die bereits langjährig bewährte amcoss amc-Software, die auch in den amc Belackern zum Einsatz kommt. Mit ihr ist eine zuverlässige Prozesskontrolle und einfache, komfortable Rezepterstellung möglich.

amcoss Temperiergeräte der amh-Serie

Die amcoss GmbH bietet mit Temperiergeräten der amh-Serie kostengünstige Lösungen für das Heizen bzw. Kühlen von Ätzprozessen in AMAT und LAM Anlagen. Die OEM-Temperiergeräte sind sehr teuer, oder - je nach Alter der jeweiligen Ätzanlage – auf dem Markt nicht mehr zu bekommen. Alternativgeräte sind oft nur mit aufwändigen, individuell ausgearbeiteten Anpassungen durch die Anwender selbst einsetzbar. Hier kommen die Heat Exchanger und Chiller von amcoss ins Spiel: mit allen amh-Geräten bieten wir komfortable Plug & Play-Lösungen, d.h. unmittelbar betriebsbereite Geräte, die nur eingesteckt werden müssen und sogleich funktionieren.

Die amcoss-Geräte ersetzen zum Einen die Temperiergeräte Neslab Steelhead 0 und 1, AMAT 0 und 1 Heat Exchanger sowie Neslab Endura im Temperaturbereich von 30° bis 95°C. Zum Anderen sind sie eine Alternative zum LAM Dual Loop sowie AMAT Centura Chiller Neslab HX 150 und HX 300 im Temperaturbereich von 4° - 40°C

amcoss setzt proprietäre Datenschnittstellen und weitere individuell auswählbare Ausstattungsmerkmale ein. Mit allen Temperiergeräten des Typs amh profitieren amcoss Kunden mehrfach: sie erhalten flexibel an ihre Prozessanforderungen angepasste Geräte, sparen Zeit und

Geld, da keine Adaptionen selbst vorgenommen werden müssen, aufwändige Beschaffungsprozesse entfallen und amcoss-Geräte deutlich günstiger zu haben sind, als die Originalchiller.

amcoss amc r&d Belacker für die Einzel- und Kleinstmengenfertigung

Für die Beschichtung von Wafern im Durchmesserbereich von zwei Zoll bis 450 mm in Kleinstmengen, beispielsweise in Laboren für Forschung und Entwicklung, bietet amcoss den amc r&d Spin Coater und Developer mit manueller Substrathandhabung. Hier werden die gleichen qualitativ höchstwertigen Prozessmodule, wie in den vollautomatischen Belackern der amc-Serie verbaut. Es fehlt einzig der Roboter für das Waferhandling. Die Art und Anzahl an Prozessmodulen bestimmt der Kunde, so dass jede Anlage einzigartig ist und genau den Kundenanforderungen entspricht. Das integrierte Wafer-Zentrierungs-System ist manuell bedienbar. Mit der „Reduzierung auf das Wesentliche“ kann die amcoss GmbH mit dem amc r&d Belacker eine Anlage anbieten, die auch für die geringe Stückzahlen einen wirtschaftlichen Betrieb zulässt.

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amcoss amc hmds200 Einzelmaschine für die HMDS-Adhäsion für die gleichzeitige Bearbeitung von bis zu 50 Wafern bis 8 Zoll.
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amcoss amh 090-9-a Heat Exchanger für den Temperaturbereich von 30° bis 95°C.
Our press contact

amcoss GmbH
Leusbundtweg 49a
6800 Feldkirch

phone  +43 5522 209 50
telefax  +43 5522 209 50-9

office@amcoss.com
www.amcossmaterials.com
www.amcoss.com

Pressekontakt:

Petra Brandenburg
phone  +43 5522 209 50-41
petra.brandenburg@amcoss.com

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