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Aussteller-Presseinformationen

amc Spin Coater & Developer - optimale Waferbelackung in allen Belangen

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Feldkirch, Österreich. Das österreichische High-Tech-Unternehmen amcoss GmbH bietet spezialisierte, aber dennoch hochflexible Anlagen für das kostenoptimierte Belacken und Entwickeln von Wafern und anderen Substraten mit lichtempfindlichen Fotolacken oder anderen, insbesondere auch zähen Substanzen.

„Mit unseren amc Anlagen realisieren wir für unsere Kunden nicht nur perfekt auf individuelle Anforderungen ausgerichtete und flexibel anpassbare Verfahrens- und Prozesslösungen, sondern ermöglichen dies gleichzeitig bei maximaler Kosteneinsparung und hervorragendem Return-on-Investment. Mit amcoss gibt es kein „Entweder-Oder“ – unsere Kunden müssen sich nicht zwischen optimierten Prozessen mit höchster Produktqualität und einer positiven Kosten-Nutzen-Kalkulation entscheiden – bei uns bekommen sie beides kombiniert aus einer Hand.“, erläutert CEO David Erne.

Modular, flexibel, kundenspezifisch – Spin Coater & Developer der amc-Serie

Die ausgeklügelten Produktmerkmale der amc Belacker und Entwickler sind darauf ausgelegt, die Präzision und somit die Prozessqualität zu perfektionieren, den Durchsatz zu erhöhen und Produktionskosten zu reduzieren. Einige Beispiele sind die Wafer-Zentrierung „on-the-move“ direkt vor dem Prozesstopf ohne separate Positionierstation, die Achsen mit servogesteuerter Positionierung für individuelle Dispense-Raten und –Pfade sowie das Handling vieler verschiedener Substrat- und Wafertypen ohne Umbau.

Neben diesen Aspekten ist auch die Flexibilität ein wichtiges Thema. Jeder Kunde hat die Möglichkeit, die Maschinenausstattung individuell aus einer großen Anzahl an Beschichtungs-, Entwickler- und Temperaturmodulen, diversen Optionen zur Distanzkontrolle und anderen optionalen Modulen zu wählen. „Die Basisplattformen sind am Ende das Einzige, was bei unterschiedlichen Kunden identisch ist. Einen Standard in der Maschinenkonfiguration gibt es bei uns nicht.“, erklärt David Erne. In der amc-Maschinenserie stehen drei verschieden große, kompakte Basisplattformen für eine unterschiedliche Anzahl an montierten Prozessmodulen zur Verfügung: amc 1000+, amc 2000+ und amc 2500+.

Darüber hinaus kann Spin Coater und Developer zu jedem beliebigen Zeitpunkt verändert oder aufgerüstet werden. Dazu ist jede Anlage standardmäßig so vorbereitet, dass weitere Prozessmodule und Hotplates einfach eingebaut werden können. Bereits mehrfach haben sich Kunden von amcoss Anlagen nach dem Kauf dazu entschieden und konnten von diesem Feature enorm profitieren.

Dass die amcoss amc Anlagen besonders sicher und anwenderfreundlich sind, versteht sich nahezu von selbst. Dazu gehört auch die offen programmierte amc-Software. Sie ist eines DER Herzstücke der amc Belacker und in Funktion und Handhabung unerreicht. Selbst bei größeren Prozessänderungen ist kein Spezialprogrammierwissen notwendig und eine einfache und komfortable Rezepterstellung machbar. Eine benutzerfreundliche und selbsterklärende Oberfläche unterstreicht die einfache Bedienbarkeit durch den Maschinenführer. Dieser kann mit ein paar wenigen Button-Clicks die Maschine ohne die Hilfe eines Softwareexperten selbst teachen, da alle  relevanten Teaching­möglichkeiten bereits in derselben Software-Plattform abgedeckt sind.

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Wirtschaftlich, präzise und flexibel - amcoss amc 2000+ Spin Coater und Developer mit modernem Design
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Der modulare Aufbau auf kompakten Plattformen und intelligente Features sind typisch für die amcoss Belacker der amc-Serie.
Unsere Ansprechpartner in Pressefragen

amcoss GmbH
Leusbundtweg 49a
6800 Feldkirch

phone  +43 5522 209 50
telefax  +43 5522 209 50-9

office@amcoss.com
www.amcossmaterials.com
www.amcoss.com

Pressekontakt:

Petra Brandenburg
phone  +43 5522 209 50-41
petra.brandenburg@amcoss.com

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