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Pfeiffer Vacuum ist Hersteller von Turbopumpen, trockenen Pumpen und Messgeräten für die folgenden Anwendungen: PVD-, CVD-, Lithographie-, Ätz- und Implantationsprozesse sowie für Back-End-Anwendungen. Für Inspektions- und Messanwendungen verfügen wir über schwingungsarme Vakuumlösungen. Darüber hinaus bieten wir Lecksuchgeräte und Lösungen für das Airborne Contamination Management (AMC) an.
Pfeifer Vacuum Valves & Engineering stellt Flansche, Ventile, Fittings und Kammern sowie kundenspezifische Komponenten her.
Pfeiffer Vacuum gehört zur Busch-Gruppe, einem der weltweit größten Hersteller von Vakuumpumpen, Vakuumsystemen, Gebläsen, Verdichtern und Gasentfernungsanlagen. Unter ihrem Dach vereint die Gruppe drei bekannte Marken: Busch Vacuum Solutions, Pfeiffer Vacuum und centrotherm clean solutions.
centrotherm clean solutions GmbH
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Strasse 43, 35614 Asslar, Deutschland
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