Precitec präsentiert die CHRocodile Sensoren für Topographie- und Dickenmessungen. Sie ermöglichen die Messung von Strukturen, Dicke, Wölbung und Verformung.Die CHRocodile-Sensoren zeichnen sich durch hohe Messraten aus. Sie ermöglichen Präzisionsmessungen und können als Standalone-Sensoren eingesetzt oder in Produktionsmaschinen für Inline-Messungen integriert werden.
Sie haben sich bei großen Halbleiterherstellern in der ganzen Welt bewährt und werden in Produktionsmaschinen für zahlreiche Arten der Qualitätskontrolle eingesetzt.
Precitec-Sensoren haben die folgenden Vorteile:
- Präzise Messungen unabhängig von der Oberflächenart
- Hohe axiale Auflösung für die Messung komplizierter Strukturen
- Messungen auch auf stark geneigten, reflektierenden und streuenden Oberflächen