Weltleitmesse und Konferenz der Elektronik
15.-18. November 2022 | Messe München
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Produktionsanlagen für verschiedene Halbleitertechnologien und Anwendungen

Unternehmensprofil

centrotherm ist einer der führenden Entwickler und Hersteller von Produktionsanlagen für verschiedene Halbleitertechnologien und -anwendungen wie Logik- und Speichermedien (z.B. Flash, DRAM), Leistungshalbleiter (z.B. Si, SiC), LED, SMT, MEMS oder Sensorik. Bei Hochtemperaturöfen zum Post Implantation Annealing und Hydrogen Annealing von 150 mm SiC-Wafern ist centrotherm führender Anbieter. Das  Produktportfolio umfasst horizontale (bis zu 300 mm Wafer) und vertikale Batchöfen (atmosphärische oder Vakuumprozesse), Hochtemperaturöfen (Annealing bis 2000°C, Oxidation bis 1500°C), Einzelwafersysteme (RTP, Niedertemperatur-Mikrowellenoxidation).

Vakuumlötsysteme und Durchlauföfen für ein breites Spektrum thermisch aktivierter Prozesse (DCB, LTCC und MLCC).

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